금속 웨이퍼 카세트

제품 설명

금속 웨이퍼 카세트는 최대 350도의 고온 환경에서 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 정밀{0}}전체-알루미늄 카세트입니다. SEMI 표준을 충족하도록 제작된 이 금속 카세트는 향상된 내구성과 열 성능을 제공하므로 화학 기상 증착(CVD), 급속 열 공정(RTP) 및 웨이퍼 어닐링과 같은 공정에 이상적입니다.

산업 표준 플라스틱 카세트와 일치하는 외부 치수를 갖춘 금속 웨이퍼 카세트는 기존 스테이지 및 전송 자동화 시스템에 원활하게 통합됩니다. 자동화된 애플리케이션을 위해 25-슬롯에서 사용할 수 있습니다. 금속 웨이퍼 카세트의 전체-알루미늄 구조는 단단한 투명(HC) 양극 산화 처리된 표면을 갖추고 있어 오래 지속되는 내마모성을 보장하므로 ISO 3(FS209E 클래스 1) 클린룸 환경에 적합합니다.

금속 웨이퍼 카세트는 짧은 리드타임과 경제적인 가격으로 제공됩니다. 맞춤형 적용을 위해 진공 환경을 위한 무전해 니켈 도금(EN), 뒤집기 및 반전 작업을 위한 이중 H-바, 두꺼운 기판을 위한 대체 슬롯 프로파일, 끝-벽 핸들 유무에 대한 옵션으로 카세트를 주문할 수 있습니다. 맞춤형 구성을 위해서는 적은 최소 주문 수량이 필요합니다.

금속 웨이퍼 카세트는{0}}플라스틱 카세트가 작동하지 않는 고온 환경에서 탁월하므로 베이킹 공정, 얇고 두꺼운 웨이퍼의 정밀 처리, 높은 웨이퍼 삽입 온도에 이상적입니다.

ISO9001 인증 시설에서 제조된 금속 웨이퍼 카세트는 품질과 신뢰성에 대한 글로벌 표준을 충족하며{1}}반도체 공정 환경에서 웨이퍼 처리를 위한 고성능 솔루션을 제공합니다.

특징:

최대 350도까지 고온 처리 처리-

ISO 3 클린룸의 내구성을 위한 경질 양극산화 알루미늄

맞춤형 옵션: 니켈 도금, 이중 H-바 및 슬롯 프로필

짧은 리드타임, 경제적인 가격, 맞춤형 주문에 대한 낮은 MOQ

주문정보

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